時間: 2023 年 11 月 14 日(星期二)14 時至 16 時
地點: 本院物理研究所 1 樓演講廳
主講人: 林本堅院士(國立清華大學半導體研究學院)
主持人: 張嘉升所長(本院物理研究所)
活動網址: https://www.phys.sinica.edu.tw/lecture_detail.php?id=2788&eng=T
聯絡人: 鍾艾庭,(02)2789-8365, aiting@gate.sinica.edu.tw
摘要:
EUV lithography is introduced in terms of light source, imaging, mask, resist, its potential, and challenges.
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