時間： 2023 年 11 月 14 日（星期二）14 時至 16 時
地點： 本院物理研究所 1 樓演講廳
主講人： 林本堅院士（國立清華大學半導體研究學院）
主持人： 張嘉升所長（本院物理研究所）
活動網址： https://www.phys.sinica.edu.tw/lecture_detail.php?id=2788&eng=T
聯絡人： 鍾艾庭，（02）2789-8365， aiting@gate.sinica.edu.tw
摘要：
EUV lithography is introduced in terms of light source, imaging, mask, resist, its potential, and challenges.